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高純超細石英粉具備優良的化學物理特性，熔點在1715℃，α-β 的結構轉換溫度為573℃，無解理，具有極好的化學穩定性、高絕緣耐壓能力，擊穿電壓32-34KV/mm，低熱膨脹，作為優質填充料應用于集成電路、微電子產品、塑封材料等。
隨著光纖工業、電子工業、微電子工業等高新技術產業迅速發展，對高純超細石英粉的要求越來越高，需求量也越來越大。目前石英微粉的制作原料多為優質天然石英礦料，其工藝流程為：原料→粗碎→中碎→酸洗→水洗→干燥→干法超細粉碎→分級→產品。但是全國各地的石英原礦品位不一，雜質含量差別很大，采用傳統工藝制得的高純超細石英粉的純度不易保證。而且隨著高品位的石英原礦資源的枯竭，原材料的價格會越來越高，生產成本也會越來越高。
石英堝是利用高純石英砂經過熔制而成，石英堝實際上已經成為SiO2 含量極高、Fe2O3 等雜質含量極低的非晶態SiO2，具有熱膨脹系數小、抗熱振穩定性強、透明度高等優點。在生產過程中每生產1 噸石英堝要有0.25 噸的廢石英堝。因此，綜合利用這些石英堝廢料制備高附加值的產品不僅可以解決企業污染難題，而且可以創造較高的經濟價值。
發明內容本發明針對現有技術存在的問題，提出了一種以廢舊石英堝制備高純超細石英粉的方法，以實現石英堝廢料的回收再利用之目的。
本發明所要解決的技術問題是通過以下技術方案來實現的。本發明提出了一種以廢舊石英堝制備高純超細石英粉的方法，其特征在于，步驟如下：
(1) 破碎：采用廢舊石英堝為原料，粉碎后得粒徑為1 ～ 30mm 的塊料；
(2) 酸洗：利用加超聲波發生器的酸洗裝置對塊料進行酸洗除雜，超聲波頻率為35 ～ 50Hz，超聲波功率為600 ～ 700W，采用草酸與鹽酸的二元混合酸或者氫氟酸、草酸與硝酸的三元混合酸；二元混合酸中草酸與鹽酸的比重為1 ∶ 1 ～ 3，三元混合酸中氫氟酸、草酸與硝酸的比重為1 ∶ 1 ～ 5 ∶ 1 ；塊料與混合酸的重量比為1 ∶ 1 ～ 5 ；具體過程為：在室溫下，利用混合酸溶液浸泡塊料10 ～ 100h，中間攪拌3 ～ 5 次，然后在超聲場中處理50 ～100min，流走表面溶液；
(3) 水洗：采用純凈水將酸洗后的塊料進行超聲清洗3 ～ 5 次，超聲頻率為10 ～20Hz，超聲功率為100 ～ 200W，洗滌至中性；
(4) 烘干：將洗滌后的塊料用烘箱進行烘干至含水重量比＜ 1％ ；
(5) 研磨：采用高細球磨機進行研磨，采用10 ～ 40mm 的4 中不同規格的球磨介質，介質填充率在28％～ 35％之間。
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